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可执行纳米运动数控实验装置的研制
成果信息
立项支持
  • 公布年份:
    2008
  • 中图分类:
    TG659
  • 关键词:
  • 成果简介:
    本成果在国内首次研制出可执行运动分辨率达1nm的数控试验装置,全面开发研制了可执行纳米运动的数控试验装置并开展了1nm、0.56nm、0.28nm的进给研究,进行了环境条件控制稳定性研究、抗微振动运动部件开发、抗微摩擦高刚性传动结构开发、柔性减振结构的开发以及数控伺服技术的应用技术研究,主要包括:   1.可执行纳米运动的数控试验装备的总体结构设计。   2.超精密单元技术的开发设计与研究。   抗微振高耦合性运动副结构;   抵抗微摩擦高刚性驱动方案结构;   柔性结构与驱动隔振的一体化结构;   3.纳米级数控系统及伺服驱动系统的应用技术研究。   4.测试分析技术研究。   5. 环境条件的建立、研究和控制。   纳米步进运动平台是纳米加工制造领域的基础平台,是所有通过纳米运动控制完成制造的关键因素。通过该项目的实施,对纳米步进运动控制的特点有了新的认识,但其中一些运动规律仍然在继续思考和研究当中。
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