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用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
摘要: 本规范规定若干种标准测试图形,用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。  本规范针对线宽计量、分辨率测试和邻近效应测试的需要,规定若干种基本测试图形单元的形状、一般尺寸、以及推荐的布局和设计规则。这些标准图形包括可供光学显微镜、电子显微镜和电子探针测量用的各种图形单元。  本规范不规定验证母版上测试图形关键尺寸的测量技术...   查看全部>>
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