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气浮传输系统中玻璃基板变形研究
摘要: 随着液晶玻璃基板生产线不断升级,玻璃基板的尺寸越来越大,厚度越来越薄。从第7代线开始,气浮支承传输逐步取代滚轮支承传输,成为新一代液晶玻璃基板光学自动检测仪器中的一项关键技术。
  液晶玻璃基板在线检测过程中对玻璃板在垂直方向上的变形量有严格的要求,本文主要从以下两个方面进行研究,首先对气浮支承下的液晶玻璃板变形进行理论分析,进而研究气浮平台的参数对变...   查看全部>>

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