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动态特性可调的微定位平台的设计与建模
摘要: 微纳定位技术是微纳制造、微观成像、纳米压印、硬盘高密度数据存储及光刻等诸多行业的核心共性技术。相关精密工程技术的飞速发展,对微纳定位系统的性能提出了更严苛的要求。由于设计误差、仿真分析中的不确定性和加工制造过程中不可避免的误差,精密定位机构常常无法达到理想的动态特性输出,无法适应复杂环境和不同工况条件下的定位工作。这些不足都限制了精密定位机构的应用范围,因此...   查看全部>>

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