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微小零件平面度精密测量关键技术研究
摘要: 对于某些微小零件如静压导轨中气浮元器件、半导体晶圆等,都具有平面度精度高、平面尺寸小的特点。当零件的尺寸较小且平面度优于0.5微米时,常规的平晶难以进行定量检测。纳米三坐标测量机、三维轮廓仪等精密测量仪器可以满足微小零件平面度的测量要求,但由于其价格昂贵,对环境要求高,难以工程应用。因此,有必要探索一种便于应用、成本合理的微小零件平面度的精密测量方法。查看全部>>

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